掃描電子顯微鏡，英文縮寫SEM，簡稱掃描電鏡，是利用聚焦很窄的高能電子束對樣品表面進行掃描來呈現物質微觀形貌表征的儀器，可以單獨使用，也可以與其他分析儀器結合使用，是研究材料三維表層構造的的重要工具。
與其他顯微鏡相比，掃描電子顯微鏡的主要優點包括分辨率高、圖像立體感強、放大倍數范圍大、景深大、視場大等。
各類顯微鏡性能的比較
比較項目 | OM | SEM | TEM | |
放大倍數 | 1-2000 | 5-200000 | 100-80000 | |
分辨率 | 可以達到 | 0.1μm | 0.8nm | 0.2 nm |
熟練操作 | 0.2μm | 6 nm | 1 nm | |
一般操作 | 5μm | 10-50 nm | 10 nm | |
焦深 | 差，例如1μm（×100） | 高，例如100μm（×100） | 中等，例如比SEM小10倍 | |
視場 | 中 | 大 | 小 | |
操作維修 | 方便，簡便 | 較方便，簡單 | 較復雜 | |
試樣制備 | 金相表面技術 | 任何表面均可 | 薄膜或復膜技術 | |
價格 | 低 | 高 | 高 | |
資料來源：公開資料
掃描電子顯微鏡類型多樣，根據電子槍種類可分為場致發射電子槍、鎢槍、六硼化鑭/六硼化鈰槍三種。
掃描電子顯微鏡主要類別
種類 | 原理 | 優點 | 缺點 |
場致發射電子槍 | 利用場致發射效應產生電子 | 具有至少1000小時以上的壽命，且不需要電磁透鏡系統 | 在十萬美元以上，且需要小于10-10torr的很高真空 |
鎢槍 | 利用熱發射效應產生電子 | 價格便宜 | 壽命在30-100小時之間，成像不如其他兩種明亮 |
六硼化鑭/六硼化鈰槍 | 壽命介于場致發射電子槍與鎢槍之間為200-1500小時，價格約為鎢槍的十倍，圖像比鎢槍明亮5-10倍，需要略高于鎢槍真空，一般在10-7 torr以上 | ||
資料來源：公開資料
掃描式電子顯微鏡行業上游主要包括電子元器件、光學儀器產品及其他配件。掃描式電子顯微鏡主要應用于主要用于紡織、化工、印染、儀器儀表、材料分析、教學科研等許多領域。
掃描式電子顯微鏡行業產業鏈
資料來源：公開資料
近些年，我國經濟實力及現代化水平實現了很大躍升，為掃描式電子顯微鏡的快速普及提供了良好的基礎。2014-2020年我國掃描式電子顯微鏡行業市場規模保持增長態勢，從8.33億元增至10.48億元，年復合增長率約4%。
2014-2020年中國掃描式電子顯微鏡行業市場規模
數據來源：公開資料
從消費結構來看，2020年我國掃描式電子顯微鏡產品消費市場集中在材料、化工領域以及生物、醫學領域，占比分別達40.8%、33.5%。
2020年中國掃描式電子顯微鏡產品消費結構
數據來源：公開資料（TC）
文章來源：官研報告網
原文章鏈接：https://market.chinabaogao.com/jixie/0510541N22021.html
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